一种用于芯片制程工艺的石英支架的加工设备及其加工方法

本申请公开了一种用于芯片制程工艺的石英支架的加工设备及其加工方法，属于石英支架加工设备的技术领域，其技术方案要点是包括底座，还包括：支撑杆、驱动组件、轴承、磨削组件，磨削组件包括转动盘、装料盘、装夹装置、升降装置、支撑架、磨削装置，装料盘上设置有装夹装置，装夹装置用于装夹固定加工物料，升降装置设置在支撑杆上，支撑架安装在升降装置上，支撑架上在与装料盘对应的位置设置有安装板，磨削装置安装在支撑架上，本申请通过驱动组件带动转动盘转动，实现物料快速的在上料、磨削、卸料的工位之间转换，配合升降装置带动磨削装置上下移动进行磨削，能高效、稳定地完成石英支架的加工，提高了加工的自动化程度和加工效率。