一种三温测试分选机的全路径集成温控系统

本发明提供了一种三温测试分选机的全路径集成温控系统，包括：预温组件、运载组件与检测组件，以及温控组件；预温组件、运载组件与检测组件均设置有温控组件，以保持相同的设定测试温度；温控组件包括：制热单元与制冷单元；预温组件包括预温盘，预温盘与设置于预温组件的制热单元和制冷单元沿第一方向由上至下堆叠；运载组件包括载盘，载盘与设置于运载组件的制热单元和制冷单元沿第一方向由上至下堆叠；检测组件包括下压盘，下压盘与设置于检测组件的制热单元和制冷单元沿第一方向由下至上堆叠。本申请所揭示的三温测试分选机的全路径集成温控系统，实现了确保芯片从预温阶段、转运阶段到检测阶段的全路径温度一致。