一种芯片测试探针用高导电率钯合金及其制备方法

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一种芯片测试探针用高导电率钯合金及其制备方法
申请号:CN202511080506
申请日期:2025-08-04
公开号:CN120575067B
公开日期:2025-09-30
类型:发明专利
摘要
一种芯片测试探针用高导电率钯合金及其制备方法,以质量百分比计,钯合金包括50‑58%Pd、35‑40%Cu、5‑10%Ag、0.05‑1.0%Cr及0.1‑1.5%辅助元素;辅助元素选自Al、Zn、In、Si中至少一种;钯合金的电阻率在8.0μΩ·cm以下,维氏硬度在450HV以上、90°折弯次数在8次以上、抗拉强度在1500MPa以上、延伸率在6%以上,钯合金经过预熔炼和二次熔炼,包括将原料中的至少部分Cu和至少部分Cr混合预熔炼,得到铜铬中间合金;将所述铜铬中间合金与剩余原料混合后进行二次熔炼。本发明的钯合金能够同时满足各种形态探针对低电阻、高塑韧性、耐疲劳性及力学强度等的迫切需求。
技术关键词
芯片测试探针 钯合金 时效热处理 延伸率 导电 氢气混合气氛 元素 线材 拉拔 速率 成型件 真空 保温 水冷 力学 形态 电阻