ESD监控仪、ESD监控系统及ESD监控方法

本申请提供一种ESD监控仪、ESD监控系统及ESD监控方法，该ESD监控仪的检测电路连接ESD监测接口和主控芯片，ESD监测接口连接外部ESD防护链路，检测电路用于将所述主控芯片发送的方波激励信号转换为锯齿波电压信号，并施加到外部ESD防护链路的监测点，主控芯片，用于向检测电路发送方波激励信号，采集所述锯齿波电压信号施加在所述监测点产生的响应电压变化；根据所述响应电压变化，得到所述ESD防护链路的ESD监测结果。响应电压变化可反应监测点时域变化特征，可规避地电位差的干扰，并基于此得到ESD防护链路的ESD监测结果。从而，能够用数据解析替代模拟比较，提升了ESD检测的可靠性。