摘要
本发明涉及瑕疵检测设备技术领域,具体为一种自动化芯片外观磨损检测装置,包括材料检测台、固定在材料检测台顶端的支撑架以及设置在支撑架顶端的光学检测头,驱动组件可驱动第一放置板和第二放置板旋转,带动芯片翻转换面,替代传统夹持翻面方式,既避免了夹持时的受力导致芯片隐性损伤,也解决了夹持结构遮挡芯片边缘、影响检测全面性的问题,针对柔性芯片,还能防止翻面操作引发形变造成的检测误差,同时,装置在翻转换面过程中,通过擦拭清理组件对芯片表面精准擦拭,有效去除指纹、粉尘等杂质,避免传统检测中杂质被误判为缺陷的情况,尤其适配透明封装及新材料芯片,减少杂质折射带来的光学干扰。