一种TMAH显影液碳酸检测方法、装置及系统

本申请涉及显影液碳酸检测技术领域，具体涉及一种TMAH显影液碳酸检测方法、装置及系统，该方法包括：获取滴定过程中混合溶液的PH值和各电极的电位序列；获取潜在突变位序集合；根据潜在突变位序集合中各突变位序对应的所有电位值的离散程度和其之前预设时间段的电位值的平稳程度，获取各突变位序的电位置信度；将潜在突变位序集合中的突变位序划分为第一突变簇和第二突变簇；根据各突变位序对应的PH值和电位置信度，获取第一突变时刻和第二突变时刻；根据第二突变时刻与第一突变时刻对应的盐酸消耗量的差值，获取TMAH显影液中碳酸根离子的浓度。本申请通过更准确地获取两次电位跃迁发生的时刻，提升了碳酸根离子浓度的检测精度。