晶圆气泡可视化方法、计算机设备及超声波设备

本申请提供一种晶圆气泡可视化方法、计算机设备及超声波设备，涉及芯片制作技术领域。该方法包括：控制目标超声波设备中的换能器单元向键合晶圆依次发射多个超声波信号，其中，目标超声波设备包括：环形排列的多个换能器单元，多个换能器单元独立倾斜安装；依次接收多个超声波信号对应的多个反射波信号；根据多个反射波信号，获取键合晶圆中空腔结构的坐标信息以及气泡结构的坐标信息；根据空腔结构的坐标信息以及气泡结构的坐标信息，生成键合晶圆的气泡图。基于多个反射波信号可区分出空腔结构和气泡结构，根据空腔结构的坐标信息和所述气泡结构的坐标信息显示键合晶圆的气泡图，便于用户在图像中区分出气泡结构。