一种芯片探针卡平面度调节机构及芯片测试设备

本发明提供了一种芯片探针卡平面度调节机构及芯片测试设备，属于半导体设备技术领域。该芯片探针卡平面度调节机构包括至少三个非共线布置的可调支撑组件，每一可调支撑组件均包括固定设置的支撑壳体和位于支撑壳体内的高度调节组件；高度调节组件包括：驱动电机；丝杠机构，包括配合的丝杠轴和丝杠螺母，丝杠轴与电机轴相连；移动轴组件，其一端与丝杠螺母相连，另一端形成为轴部，轴部用于与探针卡基板相连，轴部的横截面为多边形；导套，与支撑壳体固定连接，导套设置有形状与轴部匹配的限位孔，轴部套设于导套的限位孔中，轴部与限位孔限位配合，进而将轴部限制为仅能相对于导套沿轴向移动。本发明能够提高探针卡基板的平面度调节精度。