智能化晶圆工艺监控与晶圆盒子防护方法

本申请提供一种智能化晶圆工艺监控与晶圆盒子防护方法，包括：利用多个硬件传感器协同判断晶圆盒子是否正确放置于装载端口，通过软件逻辑监控晶圆盒子状态，确保晶圆盒子放置到位；通过软件实时监控晶圆的工艺制程状态，记录每片晶圆的历史数据并存储于数据库中，判断晶圆是否已经完成过工艺制程；通过人机交互界面，显示晶圆的工艺制程历史记录和晶圆盒子的状态。本申请在无需修改硬件的基础上，仅通过修改软件控制逻辑并结合实际情况进行判断，从根源上避免晶圆被二次工艺制程。同时，利用人机界面实时监控晶圆的当前状态，判断其是否已被加工，并显示晶圆的工艺历史记录，方便操作人员查看。由于无需改动硬件结构，还节省了经济成本。