一种倒装银镜发光二极管芯片及其制备方法

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一种倒装银镜发光二极管芯片及其制备方法
申请号:CN202511104536
申请日期:2025-08-07
公开号:CN121013516A
公开日期:2025-11-25
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体器件技术领域,尤其涉及一种倒装银镜发光二极管芯片及其制备方法,该制备方法通过沉积不同腐蚀速率的第二绝缘层子层,结合光刻保护工艺,可在BOE腐蚀后保留开孔上方的部分第二绝缘层,从而避免BOE溶液钻腐,防止了形成Al金属空洞,提升发光二极管耐大电流冲击的能力;而且本发明的金属连接层顶部只需要用Cr及Ni等金属作为保护子层,不需要使用贵金属Au作为保护子层,降低了发光二极管芯片的制备成本。
技术关键词
负性光刻胶 布拉格反射层 电流阻挡层 发光二极管芯片 层厚度 金属反射层 银镜 半导体器件技术 表面涂布 外延 速率 衬底 层叠 空洞 叠层 溶液