一种对波长和偏振不敏感的交叉波导耦合器及其制备方法

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一种对波长和偏振不敏感的交叉波导耦合器及其制备方法
申请号:CN202511117961
申请日期:2025-08-11
公开号:CN120972309A
公开日期:2025-11-18
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种对波长和偏振不敏感的交叉波导耦合器及其制备方法,包括:输入直波导、交叉波导、S形弯曲波导、输出直波导,所述交叉波导是由多根S形弯曲波导拼接交叉而成;所述S形弯曲波导的曲线轮廓是通过优化算法拟合而成;通过恰当的调节所述交叉波导中的S形弯曲波导方向和位置,使得光波从输入直波导的任意一端输入,经过交叉波导传播后,在输出直波导完成光功率的均分。与传统方向耦合器相比,本发明提供的交叉波导耦合器对波长和偏振均不敏感,尺寸较小,易于加工,插入损耗低,大大的提高了光子芯片的制备效率和集成度。
技术关键词
交叉波导 二氧化硅磨料 深度学习神经网络算法 薄膜材料 耦合器结构 抛光液 S形 掩膜材料 曲线轮廓 光刻方法 波长 飞秒激光直写 弯曲 机械抛光 铌酸锂薄膜 模拟退火算法 二氧化硅膜 光功率