半导体槽式清洗机的翻转机构

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半导体槽式清洗机的翻转机构
申请号:CN202511123856
申请日期:2025-08-12
公开号:CN120977943A
公开日期:2025-11-18
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种半导体槽式清洗机的翻转机构,包括翻转底座,翻转底座连接有右侧主板、左侧主板;翻转底座上设置有安装支架,安装支架的端部设置有第一传感器,且第一传感器的输出端连接控制系统;右侧主板、左侧主板之间设置有翻转框结构;翻转框结构包括框左侧板、框主板、框右侧板,框左侧板上连接有驱动结构,框右侧板上安装有转轴结构;转轴结构连接有传感器监测板,传感器监测板配设有第二传感器,第二传感器的输出端连接控制系统;框左侧板的内侧设置有第一承托架,框右侧板的内侧设置有第二承托架。本发明具有可控性与稳定性更强的优点,另外,电机驱动使整体的机械结构更为紧凑简化,进而降低整体的生产成本。
技术关键词
槽式清洗机 翻转机构 传感器监测 主板 转轴结构 承托架 轴承罩壳 半导体 翻转框 驱动结构 左侧板 右侧板 控制系统 安装支架 底座 机器人抓手 电机罩 水平板 检测传感器