摘要
本发明公开了一种在任何基底上生长单层二维材料的方法,步骤一、基底准备与预处理;步骤二、原位CVD生长系统初始化;步骤三、二维材料生长启动;步骤四、AI识别系统实时监测与分析;步骤五、AI控制飞秒激光蚀刻模块精准去除多层区域;步骤六、生长与去除过程动态调整;步骤七、单层二维材料生长完成确认;步骤八、样品取出与检测;本发明整合了原位CVD生长、AI实时识别与飞秒激光精准刻蚀三大技术,形成了一套系统化、自动化的单层二维材料生长方案,实现了在任意基底上单层二维材料的可控制备,突破了传统方法对特定基底的依赖。