一种在任何基底上生长单层二维材料的方法

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一种在任何基底上生长单层二维材料的方法
申请号:CN202511124505
申请日期:2025-08-12
公开号:CN120967330A
公开日期:2025-11-18
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种在任何基底上生长单层二维材料的方法,步骤一、基底准备与预处理;步骤二、原位CVD生长系统初始化;步骤三、二维材料生长启动;步骤四、AI识别系统实时监测与分析;步骤五、AI控制飞秒激光蚀刻模块精准去除多层区域;步骤六、生长与去除过程动态调整;步骤七、单层二维材料生长完成确认;步骤八、样品取出与检测;本发明整合了原位CVD生长、AI实时识别与飞秒激光精准刻蚀三大技术,形成了一套系统化、自动化的单层二维材料生长方案,实现了在任意基底上单层二维材料的可控制备,突破了传统方法对特定基底的依赖。
技术关键词
单层二维材料 基底 CVD系统 识别系统 控制飞秒激光 飞秒激光刻蚀 蚀刻模块 深度学习算法 生长系统 多层二维材料 识别模块 反馈系统 原位 启动加热装置 区域位置信息 扫描电子显微镜 原子力显微镜 能量控制