一种机械臂回零控制方法

本发明公开了一种机械臂回零控制方法，涉及半导体技术领域。首先对晶圆搬运机械臂进行建模，并模拟晶圆搬运机械臂的基准坐标系xOy；再控制晶圆搬运机械臂正常运行；当两个后臂同向转动且转动角度为θ时，α‑β‑k*360=2θ，且α+β=k*360+A；当两个后臂同向转动θ后再反向转动时，α+β=k*360+B＜k*360+A，且α‑β‑k*360=2θ；断电并重新得电后，获取α和β，且判断α+β=k*360+A是否成立。本发明提供的机械臂回零控制方法能够在断电并重新得电后实现晶圆搬运机械臂的快速回零，无需开腔操作，省时省力，缩短复机时间，提高生产效率。