一种芯片测试分选机

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一种芯片测试分选机
申请号:CN202511127552
申请日期:2025-08-13
公开号:CN120618896B
公开日期:2025-10-24
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种芯片测试分选机,配置测试分选室及设于其内的流转装置,流转装置将中转工位设置于Y向前侧,测试机构设置于中转工位的正后方,配置架空转移机构及至少两层载盘的穿梭移载机构;在中转工位,较高层的载盘相对于较低层的载盘更靠近供收料机构;架空转移机构配置可沿X‑Y‑Z向移动的移动组件,用于芯片和料盘的吸附取放;最少仅需要一个架空转移机构和一个穿梭移载机构配合,即可实现芯片及料盘的全流程流转,大幅度简化了测试分选机的机械结构并降低了造价成本,且转移行程较短,以此节约转移时间,从而提高芯片的测试效率;并且,在运行阶段,供料机构和收料机构的上下料通道为闭合设置,以增强恒温的效能并尽量减少能耗。
技术关键词
芯片测试分选机 流转装置 移载机构 取放组件 测试机构 温控组件 吸附模块 测高传感器 供料机构 制冷单元 移动组件 导向组件 测试模组 工位 收料机构 载盘 X向滑轨 配置制冷系统 真空发生器