一种基于显微视觉融合的激光超声振动测量系统

本发明涉及激光测量技术领域，公开了一种基于显微视觉融合的激光超声振动测量系统，包括：多自由度工作台，用于支撑定位被测物体，并适应不同位置和角度的测量需求；激光发射模块，用于发射激光束，产生激光反射信号；显微成像模块，与激光发射模块同轴设置，用于对被测物体表面进行显微成像；自动聚焦模块，用于根据显微图像的清晰度自动调整聚焦透镜的位置；信号处理模块，用于接收并处理从被测物体表面反射回来的激光信号，将其转换为电信号；数据处理模块，用于对信号进行分析处理，提取被测物体的振动信息。本发明通过显微视觉与激光超声技术的融合，实现了对微小结构振动特性的精确测量和可视化分析。