一种基于硅光子的模组化光纤载台

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一种基于硅光子的模组化光纤载台
申请号:CN202511127967
申请日期:2025-08-12
公开号:CN120908947A
公开日期:2025-11-07
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于硅光子的模组化光纤载台,包括:硅基载台,其内具有光纤通道,所述光纤通道用于提供光信号传输通道;集成于所述硅基载台内的多个光子组件,多个光子组件分别与硅基载台对接;光波导结构,采用沉积硅基形成光波导及连接通道;硅基载台上还具有多个刻槽,所述刻槽用于为光子组件提过连接位置,多个光子组件之间通过光纤通道进行信号传输。本发明通过硅基模组化光纤载台技术,将多个光子组件与光波导、电子芯片集成于单一载台,实现更高的集成度和小型化,并通过三维光路拓扑优化实现多芯片、多任务协同。
技术关键词
光波导结构 CVD技术 原子层沉积 ALD工艺 光纤通道结构 薄膜 光电材料 气相 金属有机化合物 光信号 载台技术 微波 反应炉 气体 电子芯片