一种基于硅光子的模组化光纤载台
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一种基于硅光子的模组化光纤载台
申请号:
CN202511127967
申请日期:
2025-08-12
公开号:
CN120908947A
公开日期:
2025-11-07
类型:
发明专利
摘要
本发明公开了一种基于硅光子的模组化光纤载台,包括:硅基载台,其内具有光纤通道,所述光纤通道用于提供光信号传输通道;集成于所述硅基载台内的多个光子组件,多个光子组件分别与硅基载台对接;光波导结构,采用沉积硅基形成光波导及连接通道;硅基载台上还具有多个刻槽,所述刻槽用于为光子组件提过连接位置,多个光子组件之间通过光纤通道进行信号传输。本发明通过硅基模组化光纤载台技术,将多个光子组件与光波导、电子芯片集成于单一载台,实现更高的集成度和小型化,并通过三维光路拓扑优化实现多芯片、多任务协同。
技术关键词
光波导结构
CVD技术
原子层沉积
ALD工艺
光纤通道结构
薄膜
光电材料
气相
金属有机化合物
光信号
载台技术
微波
反应炉
气体
电子芯片