摘要
本发明公开一种电热微执行器末端的力‑位移同步内省感知方法,包括:定义电热微执行器的状态空间模型的物理输入变量和输出变量,选取可直接测量或间接测量的中间变量作为状态变量;构造非线性状态方程和非线性输出方程并有选择的增加非线性项;选择合理的驱动电压激励信号和末端负载力激励信号,同步采集全过程响应的输入、输出变量和状态变量的数据;采用非线性动力学稀疏辨识算法进行非线性状态空间模型的参数辨识,获得系统连续时间状态方程和输出方程;将连续时间状态方程和输出方程转换为离散时间状态方程和离散时间输出方程,利用实时采集到的状态变量数据和驱动电压数据,在线同步估计微执行器末端的负载力和输出位移。