微影投影仪光学模组精度校准调节方法及系统

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微影投影仪光学模组精度校准调节方法及系统
申请号:CN202511139864
申请日期:2025-08-14
公开号:CN120915924A
公开日期:2025-11-07
类型:发明专利
摘要
本发明涉及智能投影技术领域,尤其涉及一种微影投影仪光学模组精度校准调节方法及系统,方法包括:采集目标场景的环境感知数据与投影区域信息;将数据输入预训练的深度学习调节模型,生成包含图像清晰度需求特征、畸变补偿偏差特征的光学调节特征向量;基于该特征向量确定像素补偿映射矩阵,以此调整光学模组驱动参数,包括微镜阵列偏转角度、光源功率分配系数;通过精度校准后的模组输出补偿投影画面。本发明结合环境感知数据与深度学习算法,实现对微影投影仪光学模组的智能校准,突破紧凑结构下调节范围与精度限制,有效提升复杂环境中投影画面的清晰度与几何矫正精度,增强设备环境适应性。
技术关键词
光学模组 精度校准 环境感知数据 投影仪 像素补偿 畸变特征 空间分布特征 时间序列特征 多维特征向量 实时图像 透视变换模型 微镜阵列 补偿查找表 矩阵 智能投影技术 参数 动态 调节系统 图像像素