一种新型单个光谱共焦传感器精确测厚标定与评价方法

本申请涉及光学测量领域，尤其是涉及一种新型单个光谱共焦传感器精确测厚标定与评价方法，其包括光谱数据预处理、光谱稳定性评价、算法误差验证、位移‑波长标定、出射角度‑波长标定等步骤，通过获取暗电流噪声信号等进行归一化处理消除噪声，利用特定区域滤光片评价光谱平坦性及稳定性，通过奇偶分组法计算算法的准确度和精密度等，还涉及一种光谱共焦测厚系统，存储标定的关系用于实时厚度计算。本申请达到了消除光源调制、暗噪声及光路串扰噪声，准确评价光谱稳定性，精确验证算法误差，实现位移‑波长和出射角度‑波长的精确标定，进而实现精确测厚的技术效果。