一种双自动恒温压力测试夹具的检测方法

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一种双自动恒温压力测试夹具的检测方法
申请号:CN202511160765
申请日期:2025-08-19
公开号:CN120928144A
公开日期:2025-11-11
类型:发明专利
摘要
本发明适用于半导体器件检测技术领域,提供了一种双自动恒温压力测试夹具的检测方法,旨在解决现有晶闸管压力测试中温度控制精准度不足、压力调节稳定性差、测试流程固定及数据诊断能力弱等问题,该方法包括夹具准备与参数初始化、双区动态温控、压力实时反馈调节、自适应测试流程优化以及智能数据诊断与结果输出步骤,本发明采用核心与辅助双温控区结合交叉补偿算法实现精准温控,通过PID‑模糊混合控制并结合温度变化动态修正压力参数,基于机器学习和数据库优化测试流程,融合多参数建立智能诊断模型。各创新点相互配合,显著提高了晶闸管测试的温度均匀性、压力稳定性、测试效率及性能评估准确性,适用于晶闸管生产过程中的高精度压力测试。
技术关键词
混合控制算法 压力测试夹具 智能诊断算法 补偿算法 核心 惯性补偿系数 智能诊断模型 支持向量机算法 动态 监测环境温度 晶闸管芯片 激光位移传感器 参数 精准温控 深度学习算法 机器学习算法