面向多负载特性的高功率射频电源参数匹配方法及系统

本发明提供了面向多负载特性的高功率射频电源参数匹配方法及系统，涉及容器化负载需求响应技术领域，方法包括：对接入高功率射频电源的P个负载设备配置P个负载需求响应容器；根据历史负载切换响应特性，设定负载更新窗口；同步执行实时电能需求动态分析，输出P个实时负载参数包；根据P个负载波动特性泛化P个实时负载参数包，得到P个容错参数区间后，合并得到负载需求聚合区间；本地调用高功率射频电源的动态输出能力范围后，基于匹配结果执行多负载功率分配控制。本发明解决了现有技术主要通过简单的功率分配模型来处理多个负载的调节需求，无法充分考虑负载设备间的相互影响和波动特性，导致射频电源的输出稳定性下降的技术问题。