摘要
本发明属于光纤器件制备与传感技术领域，公开了一种蜂窝状碟型弹簧式传感结构、加工及使用方法。基于双光子聚合3D打印技术在光纤端面一体化制造的聚合物弹簧结构，为实现高精度的微小应力检测提供了传感基础。宽度小于10μm的聚合物探针，实现微纳区域的应力探测功能，结构的光固化加工精度可通过调节一系列参数实现，如激光强度、扫描速度、切分层间隙。实验结果表明，该传感结构可以实现100με‑300με范围内高灵敏度的微应力或应变传感解调，并保持结构稳定和实现多次重复性检测。此方法可以根据用户要求，通过调整结构参数，制造适用于各种微小应力和应变量程的传感结构。
