一种XPS谱图分析方法、系统、计算机设备及介质

本发明提供了一种XPS谱图分析方法、系统、计算机设备及介质，属于表面分析领域，包括获取待识别XPS谱图数据；对待识别XPS谱图数据按照空间维度从高到低进行不同尺度的特征提取，得到待识别XPS谱图数据中各个谱峰的物理属性对应的局部区域特征；对局部区域特征进行上采样，得到重构谱图；将局部区域特征和重构谱图融合，得到融合特征图；对融合特征图进行物理属性拟合，将物理属性与化学位移参考范围进行匹配，确定化学状态；根据谱峰的物理属性构建拟合峰，并根据待识别XPS谱图数据的化学状态生成背景曲线。该方法不需要检测人员手动操作拟合即可提取可靠的化学状态信息，提高了能谱分析效率的同时保证了能谱分析结果的可靠性。