半导体封装结构、器件及制造方法

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半导体封装结构、器件及制造方法
申请号:CN202511173484
申请日期:2025-08-21
公开号:CN121035068A
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
本申请涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种半导体封装结构、器件及制造方法。半导体封装结构包括:基板,包括共面设置的多个玻璃子板,多个玻璃子板之间通过基板重布线层以扇出方式互联;基板具有主表面,主表面位于基板用于供芯片贴装的一侧;塑封件,至少包覆于主表面的周侧,以形成环绕基板的连续框架结构,塑封件具有环绕基板的环槽;以及加强环,至少部分嵌设于环槽中。由于采用多个玻璃子板以扇出方式互联组成基板,有助于提升I/O接口布局密度,降低工艺难度和成本,提升生产效率。而加强环嵌设于塑封件的环槽中,有助于降低基板因加强环约束而产生裂纹的风险,且便于在高温环境下保持结构稳定,有助于提升封装可靠性。
技术关键词
半导体封装结构 子板 玻璃 复合基板 重布线层 晶圆 半导体器件技术 载板 框架结构 导电柱 植焊球 球栅阵列 半成品 导电结构 芯片 单体