一种用于机器人末端的MEMS多维力传感器的制备方法

本发明公开了一种用于机器人末端的MEMS多维力传感器的制备方法，涉及多维力传感器技术领域，包括以下步骤：步骤1、准备衬底与预处理，衬底采用聚酰亚胺(PI)薄膜，然后进行衬底预处理，预处理采用超声清洗的方式，使用去离子水清洗15min，对聚酰亚胺(PI)薄膜进行清洗，去除表面的灰尘、油污等杂质，然后吹干备用，以提高后续薄膜附着力；本发明应力感知结构与敏感单元配合，能够有效感知多维力信息，为协作机器人提供准确的触觉反馈，使其在复杂作业环境中更好地与物体交互，避免碰撞和损坏，通过氧化处理、退火处理等技术，改善了薄膜之间的界面性能，消除了薄膜内应力，提高了传感器的结构稳定性和使用寿命。