滚磨方法及滚磨设备

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滚磨方法及滚磨设备
申请号:CN202511178401
申请日期:2025-08-21
公开号:CN120663197B
公开日期:2025-10-21
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种滚磨方法及滚磨设备,该滚磨方法包括:获取晶棒的晶向轴的位置,并基于预存的晶棒的生长轴的位置,确定晶向轴与生长轴的第一夹角;获取晶棒的三维模型;基于三维模型以及第一夹角,驱动磨削件活动,以使得磨削件能够沿预设路径对晶棒进行滚磨,预设路径上的每一点与晶向轴的最小距离均一致。该滚磨设备能够执行上述滚磨方法。通过上述设置,可以提高晶棒切片的成品率。
技术关键词
滚磨方法 三维模型 磨削机构 直线驱动 控制模块 扫描模块 连线 基准面 定义 滚磨设备 晶棒切片 圆盘结构 驱动件 轮廓 轴心