摘要
本发明公开一种多级粗高精度新型平移旋转平台光电编码测量方法。本发明涉及工程测量技术、精密加工等领域,解决现有光电平移旋转编码器测量精度有待提升的问题。摄像头固定于转动或平移装置上,编码器的编码装置固定于不动机架上;编码器的编码装置由均匀分布的编码阵列和精细测量光斑组成;在运动装置旋转或平移过程中,通过摄像头采集编码器的编码阵列图像和精密测量光斑图像;根据编码阵列图像,识别旋转角度的粗精度绝对位置测量值;根据精密测量光斑图像中位移像元数量,将粗精度绝对位置测量值细分到摄像头的列像元总数分之一的测量精度,根据重心算法计算旋转角度或平移量的高精度测量值,能够显著提升光电编码测量精度。