一种半导体芯片清洗烘干一体机

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一种半导体芯片清洗烘干一体机
申请号:CN202511203409
申请日期:2025-08-27
公开号:CN121011544A
公开日期:2025-11-25
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片制造技术领域,且公开了一种半导体芯片清洗烘干一体机,包括作业台,所述作业台的顶部开设有清洗池、烘干池和限位槽,所述作业台的顶部固定装配有固定块,所述固定块的外壁固定装配有电机一,所述电机一的动力输出轴固定装配有联轴器一。在对半导体芯片本体进行安装时,通过工作人员把半导体芯片本体放置在装卸组件的底部,使控制器发出信号,使电机三在接收到信号后的动力输出轴进行转动,通过电机三带动施压板进行转动,通过密封板在转动时会带动橡胶块对移动板的顶部进行贴合,从而来实现对清洗池和烘干池进行密封,再通过弧形弹簧,使移动板向上移动时能快速带动橡胶块回缩。
技术关键词
半导体芯片清洗 烘干一体机 烘干池 激光湿度传感器 作业台 清洗池 弧形弹簧 激光装置 密封组件 移动板 超声波发生器 联轴器 吹风装置 滑动板 移动块 电机 滑动杆 密封板 真空泵