一种磁悬浮轴承的位移检测装置、磁悬浮轴承系统

本发明公开了一种磁悬浮轴承的位移检测装置、磁悬浮轴承系统及其位移检测方法，该装置包括位移检测传感器及位移计算模块，位移检测传感器包括探头和检测电路，探头包括动子永磁体和定子永磁体，动子永磁体随转子移动、定子永磁体检测转子在轴向和径向的位移，与定子永磁体连接的弹性元件在动子永磁体与定子永磁体之间的磁力作用下发生形变而产生形变信号，检测电路将形变信号转为电阻变化信号，并利用差动电桥电路将电阻变化信号转换为电压信号，位移计算模块根据电压信号算出转子位移。该方案，解决了电感式传感器量程偏小、线性度差的问题，并借助差动电桥电路以消除非线性误差，提高了检测灵敏度。