一种旋转整流芯片及生产方法

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一种旋转整流芯片及生产方法
申请号:CN202511212357
申请日期:2025-08-28
公开号:CN120749033B
公开日期:2025-12-09
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种旋转整流芯片及生产方法,涉及芯片生产领域,涵盖了从制备衬底层、形成PN结、制作金属电极、钝化保护、晶圆减薄与切割,直至最终的芯片测试与分选的全流程。在芯片测试与分选环节,融入了先进的良率管理与故障诊断机制。使得不再仅仅依赖人工对晶圆图进行目视检查和经验判断,而是通过对测试结果进行智能分析,尤其是在晶圆良率低于预设阈值时,能够自动构造晶圆图图像矩阵,并基于此进行良率空间分布图的模式识别与归因。这种数据驱动的分析方式,能够高效、客观地识别出具有特定空间模式的失效点,从而显著提升了旋转整流芯片的生产效率和产品良率。
技术关键词
旋转整流器 芯片 N型单晶硅片 空间分布特征 PN结 衬底层 矩阵 模式识别 图像 制作金属电极 纹理特征 归因 故障知识库 良率 离子注入工艺 涂覆光刻胶 基底层 高风险 二氧化硅