一种基于大语言模型的SRAF图形生成方法及系统

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一种基于大语言模型的SRAF图形生成方法及系统
申请号:CN202511228919
申请日期:2025-08-29
公开号:CN120997342A
公开日期:2025-11-21
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于大语言模型的SRAF图形生成方法及系统,所述方法包括:对预先采集到的多模态的样本数据进行预处理,将其转换为大语言模型能够识别的词向量,所述样本数据包括SRAF图形以及用于生成所述SRAF图形的目标布局图案和文本形式的工艺描述;将经过预处理的训练数据输入到大语言模型中进行训练,得到可根据目标布局图案及工艺描述自动生成SRAF图形的SRAF生成模型;将经过预处理的目标布局的图案及工艺描述输入至所述SRAF生成模型中,自动生成目标布局的SRAF图形。采用本发明的技术方法,可提高SRAF图形的生成效率。
技术关键词
图形生成方法 大语言模型 布局图案 对齐模块 图形生成系统 光强度 视觉 更新模型参数 样本 数据 光刻模型 微调方法 文本 多层感知机 掩模图案 图像 仿真模型