一种基于双光路相位偏折术的透明件缺陷检测方法及系统

本发明公开了一种基于双光路相位偏折术的透明件缺陷检测方法及系统，属于光学检测技术领域。该系统包括相机、反射光源、分光镜、背透光源和处理单元。检测方法包括首次测量、产品翻转、再次测量以及缺陷综合分析与分类。通过反射式测量获取产品表面的深度图和调制度图，通过透射式零基准面差分测量获取相位差图和背光调制度图，融合多维度数据并依据预设逻辑实现对凹凸点、异物、划伤等缺陷的精准检测和分类。本发明能有效消除系统固有误差，实现双面全检无遗漏，检测精度高，缺陷分类准确，适用于多层透明玻璃等透明件的缺陷检测。