摘要
本发明公开了一种应用于退火炉的能耗控制方法及系统,涉及退火炉控制技术领域,本发明通过确定若干个热区的位置信息,构建热区状态矩阵;构建相邻热区耦合强度模型,计算各个相邻热区之间的耦合强度,并构建耦合强度标准矩阵;构建训练样本并基于最小二乘法拟合第一补偿因子公式;统计每个目标热区的相邻热区集合,根据耦合强度计算热扰动影响权重,采集相邻热区的温度变化值,构建第二补偿因子;获取退火炉实时运行参数并输入至温度预测模型,计算出第一补偿因子和第二补偿因子,并计算中央控制系统执行的温控设定值,提升退火炉系统的节能水平、温控稳定性与工艺适配能力。