一种用于碳化硅分子泵的控制系统

本发明涉及分子泵控制技术领域，公开了一种用于碳化硅分子泵的控制系统，包括控制模块和电源模块，电源模块包括输送电路、第一电流控制电路、第二电流控制电路和输出电路，输送电路通过变压器T3与输出电路连接，输送电路通过变压器T2与第二电流控制电路连接，输送电路通过L0点和N2点与第一电流控制电路连接，第一电流控制电路通过输出点vdr与第二电流控制电路连接，变压器T3与变压器T2相连接，变压器T3并联有电容C7、电阻R3和电阻R4。本发明通过电容C7、电阻R3和电阻R4能够储存电能，用于增加变压器T3的磁导率降低变压器T3的整体功率，实现磁芯伏秒平衡，进而降低整体功率，减小控制器的发热量。