一种虚拟晶圆三维模型生成方法、设备、介质及程序产品

本申请提供一种虚拟晶圆三维模型生成方法、设备、介质及程序产品，通过构建目标晶圆的初始三维模型，初始三维模型为薄圆柱体结构，用于表示晶圆的基底形态；按照预设的工艺流程，依次读取每一道工艺步骤，并基于工艺步骤确定晶圆三维模型的调整方式和调整区域；结合当前工艺步骤所对应的工艺配方参数和历史量测数据，确定晶圆三维模型的调整幅度；基于调整方式、调整区域和调整幅度，对晶圆三维模型进行结构调整；循环执行工艺步骤读取、模型调整方式与调整区域确定、调整幅度确定及结构调整的过程，直至完成工艺流程，获得目标晶圆的三维模型结构。本申请以数字化建模替代实际制造试产，实现了高精度、低成本、快速可视化的晶圆工艺建模过程。