一种衍射光学元件的制备方法

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一种衍射光学元件的制备方法
申请号:CN202511273700
申请日期:2025-09-08
公开号:CN120821011A
公开日期:2025-10-21
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种衍射光学元件的制备方法,包括以下步骤:根据目标光场功能进行逆向设计,计算得到对应的目标相位分布图;在基片表面旋涂光取向材料层;将所述目标相位分布图加载至空间光调制器,利用紫外光源发出的光束经数字微镜器件调制后生成结构化光场,并投射至光取向材料层上进行曝光,诱导光取向材料发生定向光化学反应;在曝光后的光取向材料层表面旋涂液晶层,使液晶分子按预设取向排列形成衍射光学元件。与现有技术相比,本发明利用数字微镜调控替代传统的掩模光刻与刻蚀工艺,克服了现有技术对于衍射光学元件制作周期长、成本高昂、功能固定、难以独立使用等难题,实现了衍射光学元件的快速、低成本、可编程、高性能的制备。
技术关键词
空间光调制器 数字微镜器件 相位恢复算法 紫外光源 衍射光学元件制作 光学成像系统 分子间相互作用力 像素阵列结构 光束 取向层 可编程功能 排列模板 基片 微镜阵列 旋涂工艺 图像传感器 刻蚀工艺