半导体封装用AMB/DBC陶瓷覆铜基板裂片后外轮廓瑕疵检测方法、装置、设备及介质
申请号:CN202511275538
申请日期:2025-09-08
公开号:CN120782770A
公开日期:2025-10-14
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种半导体封装用AMB/DBC基板裂片后外轮廓瑕疵检测方法、装置、设备及介质,包括:采集基板的外观源图像;导入基板CAD图纸文件,生成基板CAD图像;分别提取基板图像的外轮廓边界和基板CAD图像的外轮廓边界;对CAD外轮廓边界进行仿射变换,使其在位置和大小上与基板外轮廓边界相匹配;通过轮廓线段拟合算法分别提取出基板外轮廓拐点和CAD外轮廓拐点,并根据轮廓拐点将轮廓边界分割成多条轮廓边;对比基板和CAD对应拐点、轮廓边的数量、位置和长度等特征,检测基板的外观是否存在缺陷。本发明能够高效、精准的检测基板外轮廓完整性,保障产品的性能。
技术关键词
陶瓷覆铜基板
瑕疵检测方法
半导体封装
轮廓边
白色背光源
像素点
图像
线段
面阵相机
同轴光源
生成陶瓷
误差
瑕疵检测设备
像素矩阵
拟合算法
瑕疵检测装置