摘要
本发明涉及柔性LCD领域，且公开了一种面向柔性LCD的低温薄膜沉积系统，在检测到柔性基底进入沉积区后，实时获取表面温度、张力分布和微观形貌信息，基于多传感器网络与图像识别算法，判断柔性基底是否存在边缘翘曲；根据基底状态感知结果，通过多点闭环控制系统调节腔体内的局部温度与气流分布，采用区域热补偿与动态气场控制策略；基于当前沉积需求与反馈数据，动态调整靶材溅射能量密度及束斑分布，结合多频射频电源与空间能量偏移技术；采用等离子体诱导与脉冲沉积策略，在低温条件下引导薄膜自组织生长；基于AI模型对多批次沉积过程与质量数据进行学习分析。本发明具备提升柔性LCD的成品良率的优点。
