一种光学镜片镀膜厚度精准调控及智能加工方法及系统

本发明公开了一种光学镜片镀膜厚度精准调控及智能加工方法及系统，属于自动化过程控制技术领域，其包括建立基于光学镜片三维模型与目标膜系结构的工艺过程数字孪生模型进行虚拟镀膜仿真，生成理想厚度生长曲线；采集镀膜腔体内预设的多个光谱反射探头的反射光谱数据进行同步反演计算，生成实时厚度分布图，比对与理想厚度生长曲线生成膜厚偏差特征向量，并输入工艺过程数字孪生模型进行补偿策略推演生成动态工艺补偿指令向镀膜设备执行机构发送控制信号，调控镀膜物理参数。本发明采用工艺过程数字孪生模型结合多点实时监控的闭环控制，能够实现了对膜厚生长的空间分布和时间速率的动态补偿与协同调控，从而提升了镀膜厚度控制的精准度和均匀性。