摘要
本申请提供了的激光分束结构的制作方法及激光分束装置,涉及激光传感器技术领域;方法包括根据入射光束的分束数量、入射波长和衍射角度,确定初始激光分束结构,初始激光分束结构包括基底以及多个单元周期结构,各个单元周期结构垂直于基底且沿基底的第一方向排布,每个单元周期结构由多个介质层间隔排布形成;通过预设的调优算法对单元周期结构的结构参数进行优化,得到目标激光分束结构,入射光束经过目标激光分束结构射出的多个分光束之间的能量差异满足预设的均匀性条件,结构参数包括介质层宽度,介质层间距以及介质层深度中至少一种。本申请实施例的激光分束结构的制作方法制作的激光分束装置,能适用于形貌探测与三维结构点云图重构。