洁净室污染物浓度的管控方法、设备、介质及产品

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洁净室污染物浓度的管控方法、设备、介质及产品
申请号:CN202511349312
申请日期:2025-09-22
公开号:CN120845892A
公开日期:2025-10-28
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种洁净室污染物浓度的管控方法、设备、介质及产品,涉及洁净室通风控制技术领域。该方法包括:根据洁净室空间区域划分结果,获取洁净室内各区域的实时气态分子污染物AMC浓度;当存在目标区域的实时AMC浓度大于或等于浓度阈值时,以目标区域为中心,根据其余区域与目标区域之间的距离调整各区域FFU的风速修正值;其中,与目标区域之间的距离越近对应的风速修正值越大;在目标区域的AMC浓度小于浓度阈值时,获取各区域的当前AMC浓度值,并根据各区域的当前AMC浓度值、洁净室FFU布局信息和粒子群优化算法PSO确定FFU风速最优解;根据FFU风速最优解调整各FFU的风速。本发明能够实现污染浓度的全局监测、动态优化和精准调控。
技术关键词
洁净室 管控方法 风速 粒子群优化算法 传感器 网格 通风控制技术 反距离加权法 插值算法 风机过滤单元 地图 可读存储介质 坐标 布局 矩阵 计算机程序产品 处理器 数据 存储器