一种散热基板及其制备方法与应用

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一种散热基板及其制备方法与应用
申请号:CN202511367206
申请日期:2025-09-24
公开号:CN120878660A
公开日期:2025-10-31
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种散热基板及其制备方法与应用,属于散热板材技术领域。该散热基板包括依次层叠设置的第一铜层、第一钎焊层、第一TiC层、金刚石片层、第二TiC层、第二钎焊层以及第二铜层;第一铜层的远离金刚石片层的一侧表面设有用于放置芯片的凹槽。该散热基板热导率好、散热效率高,各层之间热应力小、结合力好。其制备方法流程简单、成本可控,可工业化生产。包含该散热基板的车载SiC芯片封装散热板在高热流密度、高温高压高频的工况下能够高效散热,并且能够有效避免热应力及热疲劳使芯片提前失效,进而确保了较高的可靠性和较长的使用寿命,能够满足大功率、高电流密度的新能源汽车需求。
技术关键词
散热基板 金属涂层 改性金刚石 真空退火 芯片封装 真空钎焊 焊料 磁控溅射方式 铜箔 多晶金刚石 层叠 激光 单晶金刚石 真空热处理 板材技术 散热板 芯片焊接 氩气流量