基于图像处理的薄膜贴合缺陷检测方法及系统

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基于图像处理的薄膜贴合缺陷检测方法及系统
申请号:CN202511395590
申请日期:2025-09-28
公开号:CN120876486B
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
本申请涉及图像处理技术领域,公开了基于图像处理的薄膜贴合缺陷检测方法及系统。该方法包括:利用偏振增强成像装置对薄膜‑导电层界面采集并预处理得到增强图像;应用双层梯度边缘检测提取贴合区边缘,标记微缺陷敏感区域;通过多尺度形貌特征提取获取界面平滑度指数和贴合均匀性特征;将特征输入支持向量分类器识别气泡‑褶皱;对识别结果进行三维重建,生成气泡分布与应力场图;最终评估贴合质量,输出完整度评分。本申请实现了对薄膜‑导电层贴合界面微小缺陷的自动化精确检测和量化评估。
技术关键词
缺陷检测方法 界面 图像处理 气泡 导电层 薄膜 应力场 高可靠性识别 边缘检测算法 平滑度 成像装置 缺陷检测系统 褶皱特征 多尺度 标记 褶皱缺陷 灰度梯度信息