晶圆薄膜检测装置、半导体设备及晶圆薄膜检测方法

本申请提供一种晶圆薄膜检测装置、半导体设备及晶圆薄膜检测方法，该晶圆薄膜检测装置设置在晶圆的传输腔外部。晶圆薄膜检测装置包括：多模态检测器，与传输腔的观察窗相对设置，多模态检测器包括彼此独立的至少三个检测结构，至少三个检测结构对晶圆薄膜表面进行检测，每个检测结构对应获取晶圆薄膜表面的至少一种检测数据；处理器，与各检测结构连接，对检测数据进行评估，并根据评估结果执行相应操作。本申请的晶圆薄膜检测装置提高了检测效率，以及对晶圆薄膜开裂预测的准确度。