一种晶圆湿法刻蚀用微观刻蚀模型开发方法

本发明涉及一种晶圆湿法刻蚀用微观刻蚀模型开发方法，其特征在于：包括建立多尺度渗流模型描述刻蚀基材刻蚀过程中刻蚀液的迁移规律，该模型综合考虑刻蚀液在刻蚀基材中的渗流特性和孔隙结构动态演化等因素，计算不同刻蚀阶段刻蚀液的迁移方向和速度分布；采用格子玻尔兹曼方法模拟刻蚀基材分解过程中孔隙结构的动态演化，获取不同时刻的孔隙网络模型，通过流体力学计算得到孔隙尺度下刻蚀液的迁移速度和压力分布，建立孔隙尺度刻蚀液迁移机理与宏观渗流规律之间的定量关联。