一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置

本发明涉及芯片提取技术领域，尤其涉及一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，包括底座和横板，所述横板固定连接在所述底座上，所述横板上固定连接有凸块，所述凸块上滑动连接有安装座，所述安装座上转动连接有转轴，所述转轴远离所述安装座的一端固定连接有凸轮，所述凸轮上固定连接有托板，所述托板上安装有提取部件，所述提取部件包括挤压板、气囊、限位杆、膨胀袋，本发明中利用膨胀袋代替托板对芯片进行托起，并使得芯片处于限位槽中间位置，并不与安装座接触，随即液压杆伸长并将安装座推动至复位，此时托板以及膨胀袋将芯片脱出并远离放置箱，实现对芯片快速提取的效果，也避免在芯片提取过程中与放置箱产生摩擦而造成损坏。