一种低温泵再生加热系统及再生加热方法
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一种低温泵再生加热系统及再生加热方法
申请号:
CN202511492406
申请日期:
2025-10-20
公开号:
CN120969115B
公开日期:
2025-12-12
类型:
发明专利
摘要
本发明属于低温泵技术领域,具体涉及一种低温泵再生加热系统及再生加热方法。再生加热方法首先根据低温泵待处理冷板的冷凝层面积和冷凝层温度,评估待处理冷板的状态,当待处理冷板处于异常状态时,获取冷板温度调整值Ct对冷板温度进行调整。本申请能够通过冷板的冷凝层面积和冷凝层温度判断冷板的状态,并通过对冷板状态、环境温度和低温泵抽气速度进行分析,并根据分析结果对冷板的温度进行精准调整,从而提高低温泵再生加热时的精准性,提高了低温泵再生加热的效率。
技术关键词
加热方法
再生加热系统
冷板
冷凝
异常状态
端点
低温泵技术
因子
温差
速度
标记
数值
芯片
程序