一种晶圆传送控制方法及传送控制系统

本发明提供一种晶圆传送控制方法及传送控制系统，包括：通过传感器网络采集设备状态和位置数据，形成设备状态矩阵；根据矩阵和加工流程确定各工艺节点的可用设备集合；以设备为节点，以传输距离和实时负载为边权构建有向加权图；采用路径搜索算法查找从起点到终点的多条路径，生成成本排序列表；选取成本最低路径作为方案并模拟验证其传输时间，若效率不达标则迭代调整边权重以融入实时负载变化，优化路径排序；最终通过控制器向传送轨道下发最优路径指令。本发明可实现实时感知、动态建图与路径优化，有效提升传送效率、减少延迟，并增强生产线稳定性和设备利用率。