基于多波段引导的动态光学厚度测量方法及测量系统

本发明公开了一种基于多波段引导的动态光学厚度测量方法及测量系统，系统采用SLD1310nm宽光谱光源与1550nm的可调谐窄带激光器构成双波段干涉光路，通过波分复用器合束与分束，核心在于采用FPGA作为异构计算单元，同步并行处理双路干涉信号：使用宽光谱信号进行光学厚度测量范围的粗定位；使用窄带信号实现亚纳米分辨率精测；并创新性地引入基于信噪比与测量结果振动程度的动态权重融合策略，自适应加权融合粗、精测结果，显著提升了复杂工业环境下光学元件厚度与间隔测量的精度、抗干扰性与实时性。